HIWIN EFEM320-D01 晶圆移载系统

特征

  • 8”SMIF标准机型

  • 外置电控箱设计,机架内部空间最大化

  • 通过国际半导体设备SEMI S2安全认证

  • 符合RoHS规范,洁净度可达Class 1

  • 多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态

  • 条码、标签及字元辨识,完整追踪生产过程