HIWIN EFEM340-D08 晶圆移载系统

特征

  • 高速长行程12”标准机型

  • 光栅设计提升安全性

  • 符合国际半导体设备SEMI S2安全规范

  • 符合RoHS规范,洁净度可达Class 1

  • 多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态

  • GUI介面软体,可远端操作指令,整合各装置子系统,提供单一指令格式窗口